太高，没有市场竞争力，又面临着ASML的专利壁垒，故而没有推向市场。

EUV光刻方面，商微电子与国内很多机构合作，取得了一定的突破，但也面临专利方面的问题。

很多高精尖设备，不是Z国人打破不了垄断，而是专利壁垒挡在了那里。

“你们有没有办法加快它的曝光效率，赶上传统光刻机呢？”

陈今问道，他觉得超分辨光刻这条路线，真的可以继续走下去，应用于大规模芯片制造。

“办法有！但实现太难了，以现有的技术，几乎不可能实现。”

“你先你的办法。”

“增加‘’的数量，就是把光刻镜头做！在手指头大的光刻镜头内，集成1万个微型镜头，让这些微型镜头同时参与工作，完成集成电路的影刻。”

张昱明摇着头，见陈今听得一脸认真，不得不继续道：“芯片内部的结构并不是非常复杂，每个die都是一样的构造，每个晶体管也是相同的，一万个微型镜头，同步完成一样的工作，可大大加快超分辨光刻的效率。”

“甚至如果能做出这样的光刻镜头，我们可以在一台超分辨光刻设备内，集成十组、一百组光刻镜头，在直径超过100英寸的晶圆上进行光刻，10万、100万个的微型镜头同时工作，整体光刻效率，甚至远远超过传统光刻机！”

“但……太难了，以现有的工业制造能力，生产出那样的光刻镜头，至少得等到20年以后。”

问题是二十年后，随着工业技术的提高，传统光刻机的造价也降下去了，超分辨光刻还是不具有明显的竞争优势……这条路，前景虽好，却注定成不了一条光明大道。

“所以，主要只是一个光刻镜头的问题，对么？”

陈今眼里闪烁亮光道。

“是的，主要的难点就是镜头。”

“好办，镜头好办……星海科技，有办法提供你所的这种镜头。”陈今道。

张昱明正点着头。

突然卡了一下